精密深度测量技术-日本UNIOn丨三轴测量显微镜

精密深度测量技术——日本union三轴测量显微镜
品牌:日本union
型号:dhii系列
hisomet系列测量显微镜为专业的x、y、z轴三轴测量显微镜,x、y工作台行程由50x50mm到大行程500x500mm,光学放大倍数由3x至1000x。为求提高工件在z轴深度/高度测量时的精度,z轴对焦采用光学“裂像指示器”
结合精密的z轴“cross roller bearing”导轨,可测范围25mm,精度高达1μm,配合特殊附件,测量分解度更可达0.5μ m或0.1μ m。
实际应用:
技术规格:
型号:dh ii
工作台行程:50x50mm 100x100mm 100x200mm 150x150mm 150x 300mm200x200mm300x300mm 500x500mm
z轴测量范围:25mm
x、y、z轴数显分解度:0.0005mm / 0.0001mm
z轴读数装置:内置数显表/外置数据处理系统
反射/透射照明系统:白色led/外置冷光源
标准目镜:nwf10x
标准物镜(w.d.12mm):plm10x
读数系统:内置数显读数器/多功能数据处理器/测量软件电脑系统
选配物镜:
pl m3x (w.d.8.5mm),
plm5x (w.d.19mm),
pllwdm20x (w.d.11.2mm),
pllwdm40x (w.d. 10mm) ,
splm50x (w.d.1. 5mm),
pllwdm100x (w.d. 5. 0mm) ,
splm100x(w.d.1.0mm)
选配件:
1)特殊z轴测量范围150mm
2)显示器/ccd视频系统
3)多功能数据处理器/测量软件电脑系统
4) 0.1um数显分解度
5)工作台转盘
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read write parameter data (tool compensation, wp coordinate table and macro variables)
机台维护管理资讯 | maintenance management
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支援fanuc、三菱、海德汉、新代、宝元、西门子控制器(*)
support fanuc, mitsubishi, heidenhain, syntec, lnc, siemens controller
利用skymars api开发客制功能 | customize function by skymars api
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