台式离线光谱干涉测厚仪FOS介绍
台式离线光谱干涉测厚仪fos介绍
适用于光学薄膜和透明涂膜
模型fos
测量方法非接触式/光谱干涉仪
测量对象电子、光学用透明平滑膜、多层膜
测量原理光谱干涉仪
产品特点实现高测量重复性（± 0.01 μm 或更小，取决于对象和测量条件）
不易受温度变化的影响
可以制造用于研究和检查的离线型和制造过程中使用的在线型。
反射型允许从薄膜的一侧测量
只能测量透明涂膜层（取决于测量条件）
产品规格测量厚度1 至 50 μm（用于薄材料）、10 至 150 μm（用于厚材料）
测量长度50-5000 毫米
测量间距1 毫米 ~
小显示值0.001 微米
电源电压ac100 伏 50/60 赫兹
工作温度限制5～45℃（测量时温度变化在1℃以内）
湿度35-80%（无冷凝）
测量区域φ0.6毫米
测量间隙约 30 毫米
关键词：测厚仪
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