等离子清洗机键合微流控PDMS芯片
等离子清洗机来键合微流控pdms芯片不会在表面产生损伤层，是无损处理工艺，表面质量得到保证；
等离子体清洗机对某些有特殊用途的材料，在超清洗过程中等离子体清洗机的辉光放电不但加强了这些材料的粘附性、相容性和浸润性，并可消毒和杀菌。等离子体清洗机广泛应用于光学、光电子学、电子学、材料科学、生命科学、高分子科学、生物医学、微观流体学等领域。
微流控pdms芯片通常采用等离子体清洗机处理的方法来获得。采用等离子清洗机来键合微流控pdms芯片，不同的工艺参数将会影响到pdms芯片的键合强度。良好的键合牢固的芯片的耐压强度可以达到3-5 bars的耐压值。
关键词：等离子清洗机 芯片
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