等离子清洗机，微流控芯片键合方案
等离子清洗机使得用户可以远离有害溶剂对人体的伤害，同时也避免了湿法清洗中容易洗坏清洗对象的问题；等离子清洗机的表面处理可用于高分子材料、复合材料、金属、陶瓷、纤维等材料的表面清洗、活化和刻蚀等工艺，以提高材料的表面能与附着力，改善其粘接性、可印刷性、色牢度等，这主要是因为等离子体在材料表面形成了羧基、羟基等亲水性基团。等离子清洗机处理是在真空状态下高频发生器将气体电离产生等离子体(物质第四态)进行表面活化改性处理的工艺。等离子体是由部分电子被剥夺后的原子以及原子被电离所产生的正负电子组成的离子化气体状物质它是除固、液、气外物质存在的第四态。这些高度活跃微粒子和被处理的材料表面发生作用，使惰性的聚合物表面活化提升其亲水性，增强界面的交互作用且使单层分子更容易扩散到其表面，使pdms基体表面得以改性实现其与多种材料键合。
等离子清洗机（plasma cleaner）又被称为等离子蚀刻机、等离子去胶机、等离子活化机、plasma清洗机、等离子表面处理机、等离子清洗系统等。等离子处理机广泛应用于等离子清洗、等离子刻蚀、等离子晶圆去胶、等离子涂覆、等离子灰化、等离子活化和等离子表面处理等场合，通过等离子清洗机的表面处理，能够改善材料表面的润湿能力，使多种材料能够进行涂覆、涂镀等操作，增强粘合力、键合力，同时去除有机污染物、油污或油脂.
等离子清洗机能去除材料表面的污染物,去除光阻胶:产生表面活性功能组;提高材料表面亲水性及疏水性,清洗生物芯片、微流控芯片,pdms;
等离子清洗机的表面活化作用:表面的亲水性或疏水性,键合和沉积前的表面预处理
等离子清洗机的表面聚合作用:沉积带官能分子团的聚合物,移植聚合物到活化后的材料表面;
等离子处理机的表面改性作用:在材料表面产生官能分子团,高分子材料表面修饰;
等离子清洗机能去除表面残留微生物，对医疗器械的消毒和杀菌;
关键词：等离子清洗机 芯片
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