LS高速中空轴电机在半导体行业应用
ls高速中空轴电机在半导体行业应用
随着国内的半导体行业的发展，制程设备关键零部件，ls特研制出的空心轴高速伺服电机，有着20多年行业应用。服务于半导体涂胶、显影、清洗设备中，吸附晶圆工艺，该电机具备高加速度，速度范围宽，高响应性等特点，在业内广受客户好评。
一、spinner motor中空轴电机的特点
1、中空轴高速电机结构：额定转速：5000rpm，最大转速6000-8000rpm
2、超快的加速/减速时间；
3、低噪音、低震动、轴端跳动系数低至；
4、轴孔采用真空空心轴设计，轴端个性化的设计，确保chunk运行平稳
5、电机功率:750w，采用水冷却系统设计，符合6寸、8寸、12寸晶圆的要求
6、针对不同用户可以为客户进行轴端定制化设计
二、高速中空电机的应用范围：
1、曝光显影设备 (涂胶，显影) 光刻加工程序的主要设备及掌控涂层，曝光，显影。
2、清洗、涂胶、显影去膜设备。
3、适用于物理冲洗清洁、颗粒清洗及喷雾工艺。
三、高速中空轴伺服产品规格及应用领域
1、 750w – 5000 , 6000 rpm
2、应用领域（机型）
l 8寸、 12寸半导体设备
l 涂胶、显影、清洗、刻蚀等工艺
l 瞬时加速
l 特殊的轴端设计，确保轴端负载跳动平稳
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二、高速中空电机的应用范围：
1、曝光显影设备 (涂胶，显影) 光刻加工程序的主要设备及掌控涂层，曝光，显影。
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三、高速中空轴伺服产品规格及应用领域
1、 750w – 5000 , 6000 rpm
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