如何克服因地面振动影响光刻系统的图案质量？
振动对 gao 级 浸没式光刻的影响
没有使用stacis®
在原基座的弹性体或刚性版本上获得 zui 佳 模式
使用stacis®
stacis主动隔振实现的模式
所示的45纳米线宽测试图形是由amphibian systems公司生产的*浸入式光刻系统生产的，安装在德克萨斯州*的sematech公司。图像之间的差异是由于地震振动对光刻过程的影响。所显示的图像是使用扫描电子显微镜获得的。
该工具 zui 初 安装在钢和混凝土基座上，基座采用钢支撑结构，其中包含商业弹性体隔振垫。这个基座没有达到工具zhi 定的振动标准，模式质量很差。
为了减少振动，弹性体垫块被 you 效 地用金属垫片短路，从而导致更刚性、非共振结构，但这几乎没有 gai 善。振动标准不符合任何版本的基座和模式，质量仍然很差。
基座支撑结构被移除，并安装了stacis®主动压电消振系统。stacis基座被直接放置在现有的底座下面。将工具支撑在stacis上，显著降低了整体地震振动水平，并达到了制造商的地面振动规范。更重要的是，stacis在模式质量方面提供了显著的改进。
不同配置的振动测量。工具规格:0.125 mils /s rms。垂直轴数据显示。
绿色：弹性体减振
白色：短路弹性体减振
蓝色：stacis减振*由sematech提供的照片、图像和振动数据。
☆关于tmc☆
tmc为纳米技术设计和制造*的建筑地面隔振系统。tmc隔离器支持超精密测量、仪器和制造。我们领xian于行业*的主动、惯性振动 xiao 除 系统，具有压电驱动器和数字控制器。我们的无源产品范围从简单的、桌面隔离显微镜底座，到几乎任何尺寸的光学表系统。
tmc产品让光子学、半导体制造、生命科学、yao 物 发现和纳米技术等领域的超精密研究、测量和制造成为可能。我们的产品是在*的、垂直一体化的制造设施中设计和制造的，并以提供 you 质的服务客户承诺为后盾。
tmc是阿美特克超精密测量部门成员，阿美特克是电子仪器和机电设备的年销售额约为50亿美金。为材料分析、超精密测量、过程分析、测试测量与通讯、电力系统与仪器、仪表与 zhuan 用 控制、精密运动控制、电子元器件与封装、特种金属产品等领域提供技术解决方案。
森泉光电为tmc zhong国 区总代理。
森泉为您的科研事业添砖加瓦：
1）激光控制：激光电流源、激光器温控器、激光器控制、伺服设备与系统等等
2）探测器：光电探测器、单光子计数器、单光子探测器、ccd、光谱分析系统等等
3）定位与加工：纳米定位系统、微纳运动系统、多维位移台、旋转台、微型操作器等等
4）光源：半导体激光器、固体激光器、单频激光器、单纵模激光器、窄线宽激光器、光通讯波段激光器、co2激光器、中红外激光器、染料激光器、飞秒超快激光器等等
5）光机械件：用于光路系统搭建的高品质无应力光机械件，如光学调整架、镜架、支撑杆、固定底座等等
6）光学平台：主动隔振平台、气浮隔振台、实验桌、刚性工作台、面包板、隔振、隔磁、隔声综合解决方案等等
7）光学元件：各类晶体、光纤、偏转镜、反射镜、透射镜、半透半反镜、滤光片、衰减片、玻片等等
8）染料：激光染料、荧光染料、光致变色染料、光致发光染料、吸收染料等等
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5）光机械件：用于光路系统搭建的高品质无应力光机械件，如光学调整架、镜架、支撑杆、固定底座等等
6）光学平台：主动隔振平台、气浮隔振台、实验桌、刚性工作台、面包板、隔振、隔磁、隔声综合解决方案等等
7）光学元件：各类晶体、光纤、偏转镜、反射镜、透射镜、半透半反镜、滤光片、衰减片、玻片等等
8）染料：激光染料、荧光染料、光致变色染料、光致发光染料、吸收染料等等
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