低温等离子体原子团化学反应在多晶硅工业行业的应用研究
低温等离子体原子团化学反应在多晶硅工业行业的应用研究：
化学反应即原子或原子团层面的重新组合，需要外界提供必要的反应活化能。相对等离子体而言，工业生产的反应物质多呈密集的凝聚态。参加反应气体大多是“高浓度”的致密层，使向反应体系持续传递大的激励能量相当困难，一些需要特大活化能的化学反应在常规技术条件下很难实现。
化学与物理学之间联系紧密分子中电子运动、原子间相互作用力、原子和分子的受激与电离等微观形态，决定了物质的物化性质和化学反应能力。因此应用物理方法使物质的状态发生变化，可导致化学变化或影响化学反应进行。
为此电场向反应室内的气体分子直接传递能量，产生具有足够大能量的电子与气体分子进行非弹性碰撞，将电子的几乎全部能量传递给参加反应的气体分子，使反应室内气体产生大量的光子、电子、离子、自由基以及活性原子激发态原子和活性分子等为其化学反应提供极活泼的活性粒子，从而使得很多化学反应条件变得温和提高化学反应效率。
自然界中物质存在形式有固态、液态及气态，其中固态的组成粒子之间的结合致密，液态次之，气态分散。要实现物质在紧密到分散的聚合态的转化需要提供额外的能量破坏原粒子间较大的结合能。同理，当物质为气态后，继续提供能量组成气体物质粒子发生电离即形成等离子体。
低温等离子体与高温等离子体的区别在于离子的温度和离子通道。低温等离子体电子运动温度高达10~10k，而气体的离子和中性离子温度接近环境温度，远低于电子运动温度。因此低温等离子体又被称为非平衡等离子体。常温常压下即可产生低温等离子体，其工业应用前景广阔。
测试数据显示，电源参数对stc一次转换率影响较大，一定范围内电源频率越低，电压越高，越有利于氯硅烷氢化反应进行。电源频通过dbd放电方式产生低温等离子体发生器安全可靠、经济环保且易于实现。在四氯化硅氢化反应中的促进效果，常温常压条件下采用等离子体辅助，即可实现5%以上的stc一次转化效率。
等离子体包含大量的光子、电子、离子、自由基以及活性原子激发态原子激发态分子和活性分子等，为化学反应提供极活泼的活性粒子，使得许多通常不能发生或者需要极其苛刻的条件才能发生的化学反应，在接近室温条件下变得容易进行，为化学反应提供了新的实现方法。对于多晶硅化工行业，从能耗控制、效率提升等方面考虑氢化、气相沉积等工序，运用等离子体促进反应进程具有重大的实用价值和科学研究价值。
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为此电场向反应室内的气体分子直接传递能量，产生具有足够大能量的电子与气体分子进行非弹性碰撞，将电子的几乎全部能量传递给参加反应的气体分子，使反应室内气体产生大量的光子、电子、离子、自由基以及活性原子激发态原子和活性分子等为其化学反应提供极活泼的活性粒子，从而使得很多化学反应条件变得温和提高化学反应效率。
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低温等离子体与高温等离子体的区别在于离子的温度和离子通道。低温等离子体电子运动温度高达10~10k，而气体的离子和中性离子温度接近环境温度，远低于电子运动温度。因此低温等离子体又被称为非平衡等离子体。常温常压下即可产生低温等离子体，其工业应用前景广阔。
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等离子体包含大量的光子、电子、离子、自由基以及活性原子激发态原子激发态分子和活性分子等，为化学反应提供极活泼的活性粒子，使得许多通常不能发生或者需要极其苛刻的条件才能发生的化学反应，在接近室温条件下变得容易进行，为化学反应提供了新的实现方法。对于多晶硅化工行业，从能耗控制、效率提升等方面考虑氢化、气相沉积等工序，运用等离子体促进反应进程具有重大的实用价值和科学研究价值。
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