从购买到使用的真空泵的注意事项1.真空泵的工作压力范围的选择。 在选择真空泵类型时,您需要考虑真空室要达到的极限压力和工作压力。 每个真空泵都有一定的工作压力范围。 2.选择真空泵尺寸。 选择真空泵的尺寸是为了确定真空泵的吸力。
真空泵尺寸的选择主要基于两点:
(1)根据真空室工作时所需的工作压力和室内的大排气量确定。 每个泵都有其极限压力和抽速压力范围。 真空室中的压力必须在泵的泵压压力范围内。
( 2)根据真空室的大小和抽气时间的要求进行选择。 此外,在真空泵的工作压力下,真空泵应能够排出真空设备过程中产生的所有气体。 有时单个真空泵无法达到工作压力。 此时,需要将不同的真空泵正确组合成一个真空单元,以满足工作要求。 例如,半导体工业的真空室相对较大,并且真空室中的工作环境需要清洁且无油,并且提取时间应尽可能短以提高工作效率。 此时,可以将抽速为15到60立方米/小时(每秒4到16升)的无油涡旋真空泵与罗茨泵组合以形成无油真空单元,达到近600 每小时立方米(每秒150升)。抽速,达到抽速大,清洁无油的目标,可以很好地满足半导体工业涂料生产线的要求。
(3).考虑真空泵对周围环境的影响。 如果不允许污染工作场所周围的环境,并且应使用红外碳和硫分析仪(如无尘室),则应选择无油真空泵。
(4).考虑真空泵产生的噪声和振动对过程和环境的影响。
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