何为先行片

圆片在基区扩散后,发射区扩散前都要做先行片,由先行片的实验工艺条件来指导批量生产,在测试前需要进行特性光刻开特性孔,特性光刻后进行前处理:在加热到(75±5)℃的2号液中煮一段时间,然后再进行h2处理,后利用四探针测试仪测试晶体管的特性。
h2处理的工艺温度为500℃,进行h2处理的目的是为了改善硅片表面的表面态密度,由于硅片特性光刻后在表面形成很多硅的悬挂键,即存在很多表面态,通过h2处理可以将硅悬挂键和氢键结合从而减少界面态,如果不进行h2处理,特性测试不出来。
对于三极管(小功率和大功率)来说,主要是双结测试,主要测试参数有bvcbo、bvceo、bvebo、hfe,如果hfe偏小,则需要追加扩散,一般扩散时间越长,hfe越大,当然hfe均匀性也很重要,不能太离散。对于大功率晶体管还需要在基区扩散后进行单结,主要测试bvcbo。

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