XRF仪有哪些主要发展趋势
随着仪器制造技术、计算机软硬件技术的发展，xrf仪发展很快，其主要发展趋势有：
（1）仪器多功能化。具有元素测量和图像分析双重功能。如岛津的1700系列和理学的zsx系列中4000w大型xrf仪，除具有xrf分析常规功能外，还增加了微小区域分析功能，可以得到局部区域元素含量分析图像；利用*的ccd成像技术，得到样品表面光学图像。
x射线荧光光谱分析和x射线衍射分析一体化。如arl-9800系列光谱仪中通过安装固定道和扫描道的x射线荧光和x射线衍射系列相结合，实现了一台仪器既能测量元素含量又能同时进行相分析的目的。
（2）仪器小型化。xrf仪器小型化主要体现在采用小功率x光管，减少水冷系统，从而大大减少了仪器体积。如飞利浦的venus100/200工业控制用xrf仪光管功率仅为200w，其minipal型能量色散xrf仪光管功率仅为9w，可分析11na~92u;布鲁克axs推出的s4小巨人波长色散和s2能量色散xrf仪，功率分别为1000w和50w，不需外循环水冷系统，可测定4be~92u。利用放射源激发的xrf仪体积更小，如niton xl-800合金分析仪利用109cd（或56fe或241am）放射源激发，整机尺寸仅为20.32*7.62*5.08cm。国产浪声科学仪器有限公司推出的beethor系列。仪器小型化的另一个方面主要是随着现代电子技术的发展，仪器功能模块有高度集成化的趋势，从而大大减少仪器体积。
（3）仪器智能化。仪器智能化主要体现在现代计算机软、硬件技术的应用。使功能更健全、丰富，操作更简便、快捷，具有定性、定量、半定量软件包和无标样分析软件。现代xrf仪均采用了*的windows操作系统，操作界面友好；有的还装有数据库，如理学zsx系列将标准储存在数据库中，半定量分析时可从数据库中自动检索出zui接近被测样品的标样来计算定量值。仪器故障诊断更方便，如飞利浦，理学，布鲁克等均有仪器自诊断功能，还可通过internet网络进行远程诊断。
（4）x光管和探测器多样化。x光管技术进步主要在于降底x光管发射功率，提高激发效率。如飞利浦公司在venus200型xrf仪上采用了低功率、超””端窗陶瓷透射靶技术；布鲁克s4小巨人采用了1000w的75µm端窗陶瓷x光管；理学zsx型推出了适用于超轻元素分析的30超薄窗型x光管，比标准型rh靶管测定元素的灵敏度提高了2~3倍。
在探测器方面，理学zsx系列采用θ-2θ-2θ耦合器三轴独立驱动，使se、fe探测器可自由组成串联或并联两种探测方式，有利于提高中等波长元素探测灵敏度，又能保证se探测器对较长波长元素的探测效率。布鲁克s4小巨人采用了pr04高透光效率的封闭正比计数器，使轻元素的测至be。飞利浦公司的minipal型xrf仪采用电制冷的pin探测器，替代以往用液氮冷却的半导体探测器
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（1）仪器多功能化。具有元素测量和图像分析双重功能。如岛津的1700系列和理学的zsx系列中4000w大型xrf仪，除具有xrf分析常规功能外，还增加了微小区域分析功能，可以得到局部区域元素含量分析图像；利用*的ccd成像技术，得到样品表面光学图像。
x射线荧光光谱分析和x射线衍射分析一体化。如arl-9800系列光谱仪中通过安装固定道和扫描道的x射线荧光和x射线衍射系列相结合，实现了一台仪器既能测量元素含量又能同时进行相分析的目的。
（2）仪器小型化。xrf仪器小型化主要体现在采用小功率x光管，减少水冷系统，从而大大减少了仪器体积。如飞利浦的venus100/200工业控制用xrf仪光管功率仅为200w，其minipal型能量色散xrf仪光管功率仅为9w，可分析11na~92u;布鲁克axs推出的s4小巨人波长色散和s2能量色散xrf仪，功率分别为1000w和50w，不需外循环水冷系统，可测定4be~92u。利用放射源激发的xrf仪体积更小，如niton xl-800合金分析仪利用109cd（或56fe或241am）放射源激发，整机尺寸仅为20.32*7.62*5.08cm。国产浪声科学仪器有限公司推出的beethor系列。仪器小型化的另一个方面主要是随着现代电子技术的发展，仪器功能模块有高度集成化的趋势，从而大大减少仪器体积。
（3）仪器智能化。仪器智能化主要体现在现代计算机软、硬件技术的应用。使功能更健全、丰富，操作更简便、快捷，具有定性、定量、半定量软件包和无标样分析软件。现代xrf仪均采用了*的windows操作系统，操作界面友好；有的还装有数据库，如理学zsx系列将标准储存在数据库中，半定量分析时可从数据库中自动检索出zui接近被测样品的标样来计算定量值。仪器故障诊断更方便，如飞利浦，理学，布鲁克等均有仪器自诊断功能，还可通过internet网络进行远程诊断。
（4）x光管和探测器多样化。x光管技术进步主要在于降底x光管发射功率，提高激发效率。如飞利浦公司在venus200型xrf仪上采用了低功率、超””端窗陶瓷透射靶技术；布鲁克s4小巨人采用了1000w的75µm端窗陶瓷x光管；理学zsx型推出了适用于超轻元素分析的30超薄窗型x光管，比标准型rh靶管测定元素的灵敏度提高了2~3倍。
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