日本在发展效率高的趋精密中小型车床方面卓有成效,有近20家公司提供这类设备。虽然型号很多,但归纳起来有如下特点:一般用于加工盘形零件而无后*,加工对象比较专一;cnc系统分辨率为10nm或1nm,可同时2~3轴控制,使用交流数字伺服驱动系统,检测反馈元件多为分辨率2.5或1.5nm的双频激光干涉仪;机床的机械结构部件,主轴基本采用空气静承,主轴传动采用柔性联轴器,皮带连接等形式,近年使用内装式电机主轴结构的增多;机械进给多使用滚珠丝杠副或静压丝杠螺母副,常组合有压电伸缩或电致伸缩的进给机构;导轨有气浮导轨,油静压或空气静压导轨,以及在双v槽中的滚动导轨;底座普遍采用花岗岩平台支撑在空气弹簧隔振系统上。这类机床的加工精度大约是:形状*.1μm~0.2μm,圆度和平面度≤0.1μm,表面粗糙度为rmax0.02μm~0.05μm。
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