激光具有高强度、高度方向性、空间同调性、窄带宽和高度单色性等优点。目前常用来测量长度的干涉仪,主要是以迈克尔逊干涉仪为主,并以稳频氦氖激光为光源,构成一个具有干涉作用的测量系统。激光干涉仪可配合各种折射镜、反射镜等来作线性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等测量工作,并可作为精密工具机或测量仪器的校正工作。
英文名称:laser interferometer(激光干涉仪)
应用
(1)几何精度检测 可用于检测直线度、垂直度、俯仰与偏摆、平面度、平行度等。
(2)位置精度的检测及其自动补偿 可检测数控机床定位精度、重复定位精度、微量位移精度等。
(3)数控转台分度精度的检测及其自动补偿
(4)双轴定位精度的检测及其自动补偿
(5)数控机床动态性能检测 可用激光干涉仪进行机床振动测试与分析(fft),滚珠丝杠的动态特性分析,伺服驱动系统的响应特性分析,导轨的动态特性(低速爬行)分析等。
技术参数
5d/6d标准型:
1. 线性:0.5ppm .
2. 测量范围:40米(1d可选80米)
3. 线性分辨力:0.001um.
4. 偏摆角和俯仰角的精度:(1.0+0.1/m)角秒或1%显示较大值
5. 大范围:800角秒
6. 滚动角精度:1.0角秒
7. 直线度精度:(1.0+0.2/m)um或1%显示较大值
8. 直线度大范围:500um
9. 垂直度精度:1角秒
10. 温度精度:0.2摄氏度
11.湿度精度:5%
12.压力精度:1mmhg
主要特点
1. 同时测量线性定位误差、直线度误差(双轴)、偏摆角、俯仰角和滚动角
2. 设计用于安装在机床主轴上的5d/6d传感器
3. 可选的无线遥控传感器长的控制距离可到25米
4. 可测量速度、加速度、振动等参数,并评估机床动态特性
5. 全套系统重量仅15公斤,设计紧凑、体积小,测量机床时不需三角架
6. 集成干涉镜与激光器于一体,简化了调整步骤,减少了调整时间
7、激光干涉仪可以同时测量线性定位误差、直线度误差(双轴)、偏摆角、俯仰角和滚动角等,以及测量速度、加速度、振动等参数,并评估机床动态特性等。
8、激光干涉仪的光源——激光,具有高强度、高度方向性、空间同调性、窄带宽和高度单色性等优点。
9、激光干涉仪可配合各种折射镜、反射镜等来使用。
注意事项
1、仪器应放置在干燥、清洁以及无振动的环境中应用。
2、在移动仪器时,为防止导轨变形,应托住底座再进行移动。
3、仪器的光学零件在不用时,应在清洁干燥的器皿中进行存放,以防止发霉。
4、尽量不要去擦拭仪器的反光镜、分光镜等,如必须擦拭则应当小心擦拭,利用科学的方法进行清洁。
5、导轨、丝杆、螺母与轴孔部分等传动部件,应当保持良好的润滑。因此必要时要使用精密仪表油润滑。
6、在使用时应避免强旋、硬扳等情况,合理恰当的调整部件。
7、避免划伤或腐蚀导轨面丝杆,保持其不失油。
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