5000 系列发生器结合了最新半导体技术和传感器技术
5000系列发生器结合了最新半导体技术和传感器技术，性能优异，十分便于使用。它可对等离子放电室内的压力，电流、电压和频率等进行集成式模拟监控，并可对等离子体发出的光进行分析，从而获得最高程度的工艺可靠性。设备采用用户界面友好的触摸屏操控，和上下游设备进行控制联动所需的通信模块集成在内。
典型应用
集成到成套生产系统中
可在苛刻的运行环境中多班制高负荷运行
需要集成工艺监控及全面系统通讯功能的工业应用
支持机器人系统的集成
fg5002/5005 等离子发生器的主要技术特点：数字高频等离子体发生器，采用集成的微处理控制器进行系统和功率的控制
通过触摸屏控制面板来显示状态和故障信息，并实现符合人机工程学的操作
集成维护手册
功率输出: 2kva (fg5002) 驱动4把等离子喷枪或5kva (fg5005)驱动8把等离子喷枪
电源电压 3x 400v
使用环境温度: 0-40 °c
发生器电气柜的易维护设计
全面的工艺监控功能，实现最高程度的工艺可靠性和可重复再现性
关键词：传感器 控制器
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