8921SC13型美国bird双电射频终止载荷技术规格
8921sc13型美国bird双电射频终止载荷为了大限度地提高工艺的重复性和一致性,现代等离子体应用需要精确的射频功率调节和控制。射频发生器的校准、调节和监控是确保射频电源准确、可重复地向腔室输送射频电源的关键组成部分。当使用像ban4020系列这样的精密功率传感器时,vswr目前提供超稳定、低vswr负载,用于快速和精确地测量发电机输出功率。8921sc13不仅提供低vswr,而且在过程临界频率下,vswr的总变化小于0.1分贝。由于校准时间不同,没有必要进行负载热身或重复性风险。这可以最小化与此校准相关的错误,并控制更关键的过程变量之一。
8921sc13型美国bird双电射频终止载荷技术规格如下：
项目编号
8921sc13
项目名称
5千瓦,超稳定,油电射频终止载荷
功率等级
5千瓦
频率范围及vswr
直流至28兆赫@最大1.1兆赫。
不足1.05:1
阻挡物
50 (nominal)
vswr稳定性
0-100%的稳定频率功率
稳定频率
13.56兆赫+10千赫
连接器
qc type lc (female) - normally supplied
互锁热开关-可选
一般都是封闭的。在236℃(457华氏度)开放
热开关等级
115伏,10a
230真空,5a
温度范围
操作:+5 to +40 °c (+41 to +104 °f)
储存:– 40 to +45 °c (– 40 to +113 °f)
高度
1520 m (5000 ft.)
潮湿
95%不凝结最大值。
冷却法
石油介质和对流电流
尺寸
32.8 x 9.5 x 26.9
832x241x681毫米
重量
126 lbs.
57千克
结束
环氧树脂
关键词：传感器 发电机 进口电磁阀 继电器 流量计
硫化氢浓度报警器的作用
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