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h-square垂直晶圆传输机-全自动AVT特征?
垂直晶圆传输机-全自动avt
产品
描述
桌上型自动双料盒垂直批量晶圆转移工具,avt是一种可靠性高、维护需求低的工具。通过简单的设计实现先进功能,提供更好的用户体验。安全传感器确保料盒正确装载,保证晶圆传输一致性。
下单时需要支持的料盒型号
晶圆接触材料:抗静电聚丙烯和缩醛,高纯度材料,具有良好的耐磨性、耐热性和出色的耐化学腐蚀性。
avt 的特点:
一次传送 25 个晶圆。
30 秒循环时间。
升降梳由防静电缩醛材料制成。
固定梳由黑色缩醛制成。
规格
晶圆尺寸76, 100, 150, 200mm
电源要求220vac 3 安培 至 24vdc 电源单独出售
吞吐量每小时 60 盒
重量40磅
附加信息
装运重量100磅
装运尺寸28 × 16 × 30 英寸
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