功率谱密度PSD(PowerSpectralDensity)
超光滑表面纹理的重要参数
psd(power spectral density)，即功率谱密度,是基于傅里叶分析，在空间频率域范围内，将表面形貌的高低起伏，转换为空间频率域上，高中低频形貌分量的强度谱线分布。
这种基于空间频域的“能量分布”分析，在预期光学表面的散射性能时非常有用。散射是光学、半导体和超精密机械应用中，超精密表面的关键性指标。
在光学加工过程中，各种加工工艺可能在表面产生周期性重复的表面纹理；典型如单点金刚石车床造成的中频纹理。如上图。
这些波纹，基于所在的频率和振幅（能量）大小，能直接影响表面散射性能。对于光学器件，散射可能会降低系统的成像质量。在半导体应用中，这种波纹会降低光刻分辨率。
所以了解超光滑表面形貌在空间频域上的能量分布，对某些应用是至关重要的，而psd就是表征表面形貌纹理“能量分布”的*常用有力工具。
psd结果的计算和表征
由于psd结果是面形信号基于一定空间频率域，在各个频率上的能量分布，所以它实际是一个基于空间频率的分布图，而不是一个数字。
基于iso10110-8的相关规定，psd需要基于一段形貌高度剖面线，适用高斯截止的快速傅里叶（fft filterwith gaussian cutoff）带通滤波后，得到功率谱分布图。
如果需要对psd做指标要求，往往是在psd分布图上以“*大线“的方式，界定在一定频段，所有频率能量的*大值，都不能”越线“。如下图绿线。
其它要点：
·剖面线的方向性。实际样品表面纹理常常会有方向性；而在三维形貌上选取的剖面线，由于方向性问题，可能没有展现出实际纹理特征。所以如上图，我们psd的剖面线采取了中心对称环状，以及自中心放射线两组剖面线取样方式。
·频段选择。psd结果必须基于一个空间频率域。基于不同应用可能特别关注不同的频段。例如2.5mm-33mm频段常常被称为psd1，这一频段的psd分布对于表面散射效果影响很大，是nif强激光项目非常关心的频段。
·基于psd频段滤波的rms结果。干涉仪量测中，常常会用到基于psd频段滤波后的rms结果。它是指在被测形貌上，按psd要求做二维带通滤波后的rms值，用以反应当前表面在整个psd频段的能量强度。
这一参数的好处是，能去除方向性影响，整体了解psd频段的能量大小；缺陷是对特定频段的特定纹理，不是非常敏感，没有psd分布图直观明显。
psd的测量
·对量测psd的干涉仪itf的要求。
psd是基于一定空间频段的分析结果，那么用于量测的干涉仪itf曲线就很重要；它决定了干涉仪是否有足够的光学分辨率，采样到psd分析对应频段的面形信息。
·对量测psd的透射标准镜的要求。
菲索式干涉测量，其测试数据结果，代表的是包扩标准镜参考面的干涉腔结果。所以必须了解到，激光干涉仪测得psd结果，其实包括了标准镜形貌的psd值。
中频的形貌误差，无法做优良标定。所以用于psd检测的标准镜，不仅对整体形貌pv值有较高要求，同时对psd中频频段误差，也提出了要求。
zygo ulraflat及ultrsphere系列标准镜，即专门为这一应用设计。不仅具有1/40-1/50波长的整体形貌精度，在中频频段，也保持了相当高的加工质量。
你知道板管一体激光切割机性价比高吗?
PZS-4B-100EPR3Q3-4812A不二越NACHI泵现货销售
沈阳混凝土增强纤维专业生产
改性塑料ABS加纤挤出造粒机
光模块的发展方向简析
功率谱密度PSD(PowerSpectralDensity)
SO412-3232硼在线分析仪参数介绍
单极安全滑触线说明
教你怎样购买一台好的智能斩骨切肉机
提高桶装水设备效率的几种方法
热源厂系列之热源集中监控系统
多林格过滤器滤芯径向褶皱式滤芯
广东省质量监督环境化学分析仪器检验站（广州）通过验收
itc智能楼宇物联云控系统解决方案
哪些因素会影响进口ELISA试剂盒检测的质量
谈一下氩气的用途
立式铣床的导轨磨损维修与保养
电化学微量氧分析仪
学习Excel
CS14H热静力液体膨胀式疏水阀的结构特点及其连接尺寸
psd(power spectral density)，即功率谱密度,是基于傅里叶分析，在空间频率域范围内，将表面形貌的高低起伏，转换为空间频率域上，高中低频形貌分量的强度谱线分布。
这种基于空间频域的“能量分布”分析，在预期光学表面的散射性能时非常有用。散射是光学、半导体和超精密机械应用中，超精密表面的关键性指标。
在光学加工过程中，各种加工工艺可能在表面产生周期性重复的表面纹理；典型如单点金刚石车床造成的中频纹理。如上图。
这些波纹，基于所在的频率和振幅（能量）大小，能直接影响表面散射性能。对于光学器件，散射可能会降低系统的成像质量。在半导体应用中，这种波纹会降低光刻分辨率。
所以了解超光滑表面形貌在空间频域上的能量分布，对某些应用是至关重要的，而psd就是表征表面形貌纹理“能量分布”的*常用有力工具。
psd结果的计算和表征
由于psd结果是面形信号基于一定空间频率域，在各个频率上的能量分布，所以它实际是一个基于空间频率的分布图，而不是一个数字。
基于iso10110-8的相关规定，psd需要基于一段形貌高度剖面线，适用高斯截止的快速傅里叶（fft filterwith gaussian cutoff）带通滤波后，得到功率谱分布图。
如果需要对psd做指标要求，往往是在psd分布图上以“*大线“的方式，界定在一定频段，所有频率能量的*大值，都不能”越线“。如下图绿线。
其它要点：
·剖面线的方向性。实际样品表面纹理常常会有方向性；而在三维形貌上选取的剖面线，由于方向性问题，可能没有展现出实际纹理特征。所以如上图，我们psd的剖面线采取了中心对称环状，以及自中心放射线两组剖面线取样方式。
·频段选择。psd结果必须基于一个空间频率域。基于不同应用可能特别关注不同的频段。例如2.5mm-33mm频段常常被称为psd1，这一频段的psd分布对于表面散射效果影响很大，是nif强激光项目非常关心的频段。
·基于psd频段滤波的rms结果。干涉仪量测中，常常会用到基于psd频段滤波后的rms结果。它是指在被测形貌上，按psd要求做二维带通滤波后的rms值，用以反应当前表面在整个psd频段的能量强度。
这一参数的好处是，能去除方向性影响，整体了解psd频段的能量大小；缺陷是对特定频段的特定纹理，不是非常敏感，没有psd分布图直观明显。
psd的测量
·对量测psd的干涉仪itf的要求。
psd是基于一定空间频段的分析结果，那么用于量测的干涉仪itf曲线就很重要；它决定了干涉仪是否有足够的光学分辨率，采样到psd分析对应频段的面形信息。
·对量测psd的透射标准镜的要求。
菲索式干涉测量，其测试数据结果，代表的是包扩标准镜参考面的干涉腔结果。所以必须了解到，激光干涉仪测得psd结果，其实包括了标准镜形貌的psd值。
中频的形貌误差，无法做优良标定。所以用于psd检测的标准镜，不仅对整体形貌pv值有较高要求，同时对psd中频频段误差，也提出了要求。
zygo ulraflat及ultrsphere系列标准镜，即专门为这一应用设计。不仅具有1/40-1/50波长的整体形貌精度，在中频频段，也保持了相当高的加工质量。
你知道板管一体激光切割机性价比高吗?
PZS-4B-100EPR3Q3-4812A不二越NACHI泵现货销售
沈阳混凝土增强纤维专业生产
改性塑料ABS加纤挤出造粒机
光模块的发展方向简析
功率谱密度PSD(PowerSpectralDensity)
SO412-3232硼在线分析仪参数介绍
单极安全滑触线说明
教你怎样购买一台好的智能斩骨切肉机
提高桶装水设备效率的几种方法
热源厂系列之热源集中监控系统
多林格过滤器滤芯径向褶皱式滤芯
广东省质量监督环境化学分析仪器检验站（广州）通过验收
itc智能楼宇物联云控系统解决方案
哪些因素会影响进口ELISA试剂盒检测的质量
谈一下氩气的用途
立式铣床的导轨磨损维修与保养
电化学微量氧分析仪
学习Excel
CS14H热静力液体膨胀式疏水阀的结构特点及其连接尺寸