等离子清洗设备在封装行业的应用
在微电子封装的生产过程中，由于指印、助焊剂、各种交叉污染、自然氧化等，器件和材料表面会形成各种沾污，包括有机物、环氧树脂、焊料、金属盐等。这些沾污会明显地影响封装生产过程中的相关工艺质量。使用等离子体清洗机很容易清除掉生产过程中所形成的这些分子水平的污染，保证工件表面原子与即将附着材料的原子之间紧密接触，从而有效地提高引线键合强度，改善芯片粘接质量，减少封装漏气率，提高元器件的性能、成品率和可靠性.
等离子清洗机（plasma cleaner）又被称为等离子蚀刻机、等离子去胶机、等离子活化机、plasma清洗机、等离子表面处理机、等离子清洗系统等。等离子处理机广泛应用于等离子清洗、等离子刻蚀、等离子晶圆去胶、等离子涂覆、等离子灰化、等离子活化和等离子表面处理等场合，通过等离子清洗机的表面处理，能够改善材料表面的润湿能力，使多种材料能够进行涂覆、涂镀等操作，增强粘合力、键合力，同时去除有机污染物、油污或油脂.
led封装等离子体清洗机 粘片前进行处理，提高芯片附着力；键合前采用等离子清洗机进行处理，提高键合强度；塑模和封装前进行处理，减少封装分层； 硅晶片的蚀刻与表面有机物的清洗;倒装芯片工艺底部填充前采用等离子清洗机进行处理，可以提高填充速度、减少空洞率、增加填充高度及一致性、增加填充物的附着力。
关键词：芯片 等离子清洗机
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