电子级硫酸颗粒管控的难点及解决方法
什么是电子级硫酸？
电子级硫酸又称高纯硫酸、超纯硫酸，属于超净高纯试剂，是一种微电子技术发展过程中的关键基础化学试剂。
电子级硫酸有哪些应用？
电子级硫酸广泛应用于半导体、超大规模集成电路的装配和加工过程，主要用于硅晶片的清洗和蚀刻，可有效除去晶片上的杂质颗粒，无机残留物和碳沉积物。
基于上述原因，我国新的电子级硫酸标准将于2023年5月1日正式施行，也将颗粒管控提到了标准管控层面。
为什么要对电子级硫酸进行颗粒管控？
电子级硫酸的纯度和洁净度对电子元的件成品率、电性能及可靠性有着重要的影响。电子级硫酸是芯片制造工艺中用量的电子化学品，主要用于去除晶圆片上残留的金属和有机物杂质，质量要求高，产品中金属离子须达到ppt级（ppt=1ng/kg=10-12）。
电子级硫酸管控有哪些难点？
有2个，一个是硫酸的腐蚀性，一个是硫酸的浓度。98%浓度的电子级硫酸的腐蚀性很强，这个就要求颗粒管控的仪器的耐强腐蚀很强。高浓度的硫酸检测，接液材质达不到这个检测浓度就无法需要稀释检测，稀释又会存在手动稀释和自动稀释的问题，都是给电子级硫酸检测无形中增加了麻烦。
如何解决？
针对这2个问题，普洛帝研发团队经过反复试验，攻破了这2个难点，将电子级硫酸的检测浓度提升到98%。在高浓度强酸性的情况下，依然可以实现颗粒管控的准确性。这款仪器就是普洛帝自主研发的品牌型号pmt-2，选用0.1-1.0um检测范围的强腐蚀性传感器，实现了电子级硫酸的颗粒管控目的。目前，已经在江苏、广东等地的电子级硫酸生产企业得到了应用。
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为什么要对电子级硫酸进行颗粒管控？
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