紧凑型质量流量和压力控制器FLEXI-FLOW 紧凑型 FF-C1x技术规格介绍
快速稳定的控制
车载气体转换模型
嵌入了 22 种特的气体
多参数输出：质量流量、温度和压力
usb-c 和蓝牙通信
用于低气体流量的质量流量/压力控制器flexi-flow 紧凑型质量流量/压力控制器适用于在真空和 17 bar(a) 之间的工作压力下精确测量和控制 0…500 mln/min 和 0…20 ln /min 之间的流量范围。该仪器将基于毛细管 mems 技术的快速稳定的热质量流量传感器与精确且经过验证的旁路结构相结合。由于特的国际专，精确的质量流量测量得以建立，几乎不受温度和管线压力变化的影响。结合集成温度和上游和下游压力传感器，22 种气体的嵌入式数据库可实现精确的机载转换。多参数仪器为用户提供有用的过程信息。
flexi-flow 紧凑型质量流量/压力控制器目前有 3 种型号可供选择：
“高级预配置”(pa)，量程比 1:500，流量 + 温度 + 上游和下游压力，4 个流量范围（fs，基于 n2）：ff-a500 型 - 500 mln/minff-a2k0 型 - 2 ln/minff-a5k0 型 - 5 ln/minff-a20k 型 - 20 ln/min
“预配置标准”(ps)，量程比 1:50，流量 + 温度，4 个流量范围（fs，基于 n2）：ff-s500 型 - 500 mln/minff-s2k0 型 - 2 ln/min型ff-s5k0 - 5 升/分钟ff-s20k 型 - 20 升/分钟
“按订单制造”(bto)，调节比 1:1000；在 0.5 和 20 l n/min（fs，基于 n2）之间自由选择范围，ff-c10 型：流量 + 温度ff-c11 型：流量 + 温度 + 上游和下游压力；bto 模型也可用于配置多达 8 个通道的多通道版本。
测量/控制系统
流量范围（可提供中间范围）分钟。最大0…500 mln/min0…20 ln/min（以 n2计）
压力范围pa：0...17 bar(a)ps：不可用bto：ff-c10：不可用 / ff-c11：0...17 bar(a)
精度（包括线性度）（基于实际校准）pa：±0.8% rd + ±0.2% fs (n2/air/o2)；ps：±1.5% rd + ±0.5% fs (n2/air/o2);bto：高达 ±0.5% rd 加上 ±0.1% fs (n2/air/o2)；对于其他气体增加转换不确定性；查看多气体表；
重复性流量传感器：< ±0.2% rd；压力传感器：< ±0,2% fs
调节比ps：1:50pa：1:500bto：高达 1:1000
最大限度。运营压力16巴克
多气体/多范围以及这些气体的任何混合物的嵌入式气体数据
稳定时间（受控，典型）<150 毫秒
长期稳定性< 0.5% 满量程 3 年；然后 < 0,2% fs 每年
控制稳定性< ±0,1% fs（1 ln/min n2 的典型值）
工作温度0 … 50摄氏度
储存/运输条件-20 … +80 °c，最大值95% rh（非冷凝）
安装任意位置，姿态敏感度可忽略不计
关键词：控制器 传感器 压力控制器 压力传感器 流量传感器
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