CCQ-A型系列气动超高真空插板阀技术性能
ccq-a型系列气动超高真空插板阀技术性能
ccq-a型系列气动超高真空插板阀是用压缩空气为动力，通过电磁换向阀改变气路方向，推动气缸活塞，驱动阀板作上下运动，实现阀门的开启或关闭，从而达到在超高真空系统中接通或切断气流的目的。适用的工作介质为洁净的空气和非腐蚀性气体。
主要技术性能
适用范围(pa)
105～1.3x10-7
阀门漏率(pa.l/s)
dn≤200为≤1.3x10-7dn≥250为≤6.7x10-7
阀门烘烤温度（℃）
≤150(除传动装置外)
开阀时阀板两侧压力差(pa)
≤2.7x103
气源压力（mpa）
0.4～0.6
电源电压
标准出厂：ac220v/50hz特殊：ac110v；dc24v；dc12v等
信号反馈
标准出厂：不带反馈信号特殊：微动开关dc/ac5～240v
连接及外形尺寸
型号
通径(dn)
φd
φd0
φd1
φd2
φd3
h
a
n-d
l
l1
b
法兰标准
ccq-50a
50
89
72.4
61.6
55.6
/
60
91
8-m8
515
153
62
gb/t6071
ccq-63a
63
114
92.1
82.6
76.6
/
65
105
8-m8
590
180
62
ccq-80a
80
130
110
99
93
/
65
130
16-m8
608
220
75
ccq-100a
100
152
130.2
120.7
114.7
/
70
152
16-m8
655
267
94
ccq-150a
150
202
181
171.5
165.5
/
70
202
20-m8
707
350
94
ccq-200a
200
254
231.8
222.3
216.6
/
80
251
24-m8
806
426
112
ccq-250a
250
314
288
308
275
271
85
300
24-m10
1125
550
112
jb5278
ccq-300a
300
365
338
353
323
318
90
352
32-m10
1195
613
140
/
关键词：电磁换向阀
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105～1.3x10-7
阀门漏率(pa.l/s)
dn≤200为≤1.3x10-7dn≥250为≤6.7x10-7
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≤2.7x103
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0.4～0.6
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型号
通径(dn)
φd
φd0
φd1
φd2
φd3
h
a
n-d
l
l1
b
法兰标准
ccq-50a
50
89
72.4
61.6
55.6
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60
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8-m8
515
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62
gb/t6071
ccq-63a
63
114
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82.6
76.6
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65
105
8-m8
590
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62
ccq-80a
80
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110
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16-m8
608
220
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ccq-100a
100
152
130.2
120.7
114.7
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16-m8
655
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ccq-150a
150
202
181
171.5
165.5
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70
202
20-m8
707
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ccq-200a
200
254
231.8
222.3
216.6
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24-m8
806
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ccq-250a
250
314
288
308
275
271
85
300
24-m10
1125
550
112
jb5278
ccq-300a
300
365
338
353
323
318
90
352
32-m10
1195
613
140
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