安捷伦涡轮分子泵系统的操作注意事项
安捷伦涡轮分子泵系统的操作注意事项（1） 不能在前级泵工作时（前级管道接通） 和真空室处于真空状态时将涡轮分子泵停掉，否则将会使油蒸汽迅速从前级管路返流到泵的清洁端。
（2） 分子泵系统在停机充干燥气体前，一定要先将分子泵冷却水关闭，且要从泵的高真空端充气。决不能从泵的前级管路进行充气。
（3）选择抽气系统前级泵的大小时，应使涡轮分子泵的前级保持在分子流状态下。
（4）不能让涡轮分子泵在低于额定工作转速下运转。
（5）分子泵入口应装设防护网，以避免异物进入泵内损坏泵转子和定子叶片。
安捷伦涡轮分子泵系统的操作注意事项尽量避免频繁启停
分子泵在匀速工作时，转子叶片仅受到离心力的作用（真空下阻力很小可以忽略不计），即远离轴心的方向的拉力；而在加速和减速的时候，叶片还受到转动切线方向的力，相当于对叶片进行弯折的力。显而易见，对叶片进行弯折对其疲劳寿命的贡献更大。
另外，分子泵在加速时功率较大，内部发热比较严重，频繁的启停（两次启动间隔<30 分钟）会造成热量累积，使分子泵内部的温度过高，加剧轴承磨损。
根据工艺条件选择适当的冷却
分子泵的冷却方式有三种：自然冷却、强制风冷和水冷。300 l/s 以下的分子泵，在没有气体负载的情况下，可以采用自然冷却；较大的分子泵或者有一定的气体负载时，需要选择强制风冷（风扇冷却）；对于有些负载很大的应用（比如cvd），或者不方便使用风扇的环境（如辐射环境），需要采取水冷。
技术规格
抽速 iso 100 k/cff 6”/iso 160 k/cff 8”
n2
he
h2
ar 250 l/s
255 l/s
220 l/s
250 l/s
大气体流速
n2 250 sccm
压缩比
n2
he
h2
ar > 1 × 1011
> 1 × 108
1.5 × 106
> 1 × 1011
n2大前级耐压 12 mbar
极限真空（使用*的前级泵） < 1 × 10-10mbar
(< 1 × 10-10torr)
抽气口法兰 iso 100 k、cff 6”、iso 160 k、cff 8”
前级管道法兰 kf16 nw（kf25 — 可选）
转速 60000 rpm（1010 hz 驱动频率）
启动时间 < 3 分钟（使用软启动时更长）
*的前级泵 干泵：idp-3（无气流）、idp-7、idp-10，
机械泵：ds102、ds302
运行位置 任意位置
运行环境温度 +5 °c 至 +35 °c
烘烤温度 抽气口法兰极限温度 80 °c
润滑油 良好的润滑时间
冷却要求
风冷 自然对流（仅在无气体负荷的情况下）
加压空气冷却（环境温度 5 - 35 °c）
水冷 小流速：50 l/h (0.22 gpm)
温度：+15 °c 至 +30 °c
大压力：5 bar (75 psi)
噪声声压级
（全速运行时距离 1 m 处） 41 db(a)
储存温度 -40 °c 至 +70 °c
重量 kg (lbs)
twistorr 305 fs iso 100 k 5.84 kg (12.8)
cff 6’’ 8.16 kg (17.9)
iso 160 k 6.28 kg (13.8)
cff 8’’ 10.43 kg (22.9)
符合的法规： en 61010-1
en 61326-1
en 1012-2
en 12100
en 50581
机械指令 2006/42/ec
电磁兼容性指令
2014/30/eu 指令 2011/65/eu
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（5）分子泵入口应装设防护网，以避免异物进入泵内损坏泵转子和定子叶片。
安捷伦涡轮分子泵系统的操作注意事项尽量避免频繁启停
分子泵在匀速工作时，转子叶片仅受到离心力的作用（真空下阻力很小可以忽略不计），即远离轴心的方向的拉力；而在加速和减速的时候，叶片还受到转动切线方向的力，相当于对叶片进行弯折的力。显而易见，对叶片进行弯折对其疲劳寿命的贡献更大。
另外，分子泵在加速时功率较大，内部发热比较严重，频繁的启停（两次启动间隔<30 分钟）会造成热量累积，使分子泵内部的温度过高，加剧轴承磨损。
根据工艺条件选择适当的冷却
分子泵的冷却方式有三种：自然冷却、强制风冷和水冷。300 l/s 以下的分子泵，在没有气体负载的情况下，可以采用自然冷却；较大的分子泵或者有一定的气体负载时，需要选择强制风冷（风扇冷却）；对于有些负载很大的应用（比如cvd），或者不方便使用风扇的环境（如辐射环境），需要采取水冷。
技术规格
抽速 iso 100 k/cff 6”/iso 160 k/cff 8”
n2
he
h2
ar 250 l/s
255 l/s
220 l/s
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大气体流速
n2 250 sccm
压缩比
n2
he
h2
ar > 1 × 1011
> 1 × 108
1.5 × 106
> 1 × 1011
n2大前级耐压 12 mbar
极限真空（使用*的前级泵） < 1 × 10-10mbar
(< 1 × 10-10torr)
抽气口法兰 iso 100 k、cff 6”、iso 160 k、cff 8”
前级管道法兰 kf16 nw（kf25 — 可选）
转速 60000 rpm（1010 hz 驱动频率）
启动时间 < 3 分钟（使用软启动时更长）
*的前级泵 干泵：idp-3（无气流）、idp-7、idp-10，
机械泵：ds102、ds302
运行位置 任意位置
运行环境温度 +5 °c 至 +35 °c
烘烤温度 抽气口法兰极限温度 80 °c
润滑油 良好的润滑时间
冷却要求
风冷 自然对流（仅在无气体负荷的情况下）
加压空气冷却（环境温度 5 - 35 °c）
水冷 小流速：50 l/h (0.22 gpm)
温度：+15 °c 至 +30 °c
大压力：5 bar (75 psi)
噪声声压级
（全速运行时距离 1 m 处） 41 db(a)
储存温度 -40 °c 至 +70 °c
重量 kg (lbs)
twistorr 305 fs iso 100 k 5.84 kg (12.8)
cff 6’’ 8.16 kg (17.9)
iso 160 k 6.28 kg (13.8)
cff 8’’ 10.43 kg (22.9)
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en 1012-2
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