快速退火炉的应用领域和使用条件介绍
快速退火炉具有升温速度快、密封好、温度范围宽、实验方便等特点。
真空快速退火炉的应用领域：
- 离子注入/接触退火；
- 快速热处理(rtp)，快速退火(rta)，快速热氧化(rto)，快速热氮化(rtn)；
- 可在真空、惰性气氛、氧气、氢气、混合气等不同环境下使用；
- siau, sial, simo合金化；
- 低介电材料；
- 晶体化，致密化；
- 太阳能电池片键合
快速退火炉适用于下列工作条件：
（1）环境温度在-10～75℃之间。
（2）周围环境的相对湿度不超过85%。
（3）炉子周围没有导电尘埃，爆炸性气体及严重破坏金属和绝缘材料的腐蚀性气体。
（4）没有明显的倾斜﹑振动和颠簸。
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