日本ULVAC DIS-90渦旋干式真空泵技术资料
日本ulvac dis-90渦旋干式真空泵一、特性
•双绕式涡旋泵，含1根轨道螺旋和2根固定螺旋。
•可在大气压下实现操作运行。
•可实现高极限真空。
•低振动低噪音。
•维护周期可通过计时表控制。
日本ulvac dis-90渦旋干式真空泵二、应用
•分析设备
•气体回收系统
•涂料设备•tmp前级泵
•氦渗漏探测器
•半导体制造工艺
日本ulvac dis-90渦旋干式真空泵三、规格参数
单位
50hz
60hz
实际抽速
l/min
90
108
极限压力
pa
5.0
马达
单相,100/115/200/230v,
150w,4p,电容启动运行
满载电流
a
2.6/1.3/1.6
(100/200/230v)
2.1/2.2/1.1/1.1
(100/115/200/230v)
重量
kg
14.0
进出气管道直径
进气管kf-25 出气管kf-16
环境温度
°c
5–40
水蒸气处理
g/天
≤5(a.f.开启)
尺寸
mm
214(w)×308(l)×225(h)
四、外形图
五、泵数曲线
六、对应电压与认证
电压
现行电压
ce认证
csa认证
单相,
100v/115v(60hz)/200-230v
标准
关键词：干式真空泵 真空泵
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