适用于60系列 半导体工艺产品特点分析
适用于60系列 半导体工艺产品特点分析
介绍flowel株式会社的各种产品，包括多年来受到半导体行业和其他行业好评的“氟树脂接头”。
适用于60系列半导体工艺可提供专用夹具・高性能扩口型接头・优异的液体置换特性・用途：涂布机、显影机
特征采用国内的喇叭形密封方式。本体和螺母形状均具有的结构，接近地满足客户的要求：清洁安全、不积液、不泄漏、无需重新拧紧，性能配备。非常适合防止 cmp 浆料结块、光刻胶起泡和胶凝以及蚀刻和剥离溶液泄漏。
高性能火炬配件
本体前端及螺母内部进行锥度加工的结构
显着改善液体替代特性
准备两种类型的施工方法：冷火炬和热火炬。
最高工作温度：100℃
适用管材尺寸： φ3mm 至 φ25mm、φ1/8″ 至 φ1″
相关工具
扩管时需要特殊工具。有两种施工方法：“冷”和“热”。
・冷喇叭口：在室温下执行的安装方法（杠杆式）・热喇叭口：在加热条件下执行的安装方法（杠杆式、手持式）
“专用工具”有两种类型：
・杠杆式：杠杆式夹具将杠杆原理应用于扩口管，因此任何人都可以轻松且均匀地扩口管。・手持式：热火炬施工专用的手持式夹具。用热风枪加热管子，使管子张开。适用于管道长度较短和工作区域较少的情况。
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