扫描电容显微镜
描电容显微镜是一种动态efm。在efm中通常为[ 1 ] 。悬臂直接由v tip = v dc + v ac sin（wt）偏置，其中v ac称为驱动电压。根据在半接触模式下次扫描期间定义的轮廓，在样品表面上方的某个高度h上执行扫描。与样品表面之间在电势v s下的电容力f cap（z）为
f cap（z）=（1/2）（v tip -v s）2（dc / dz）
其中c（z）是取决于笔尖几何形状，表面形貌和笔尖表面间距z的笔尖表面电容。
电容力的二次谐波仅取决于（dc / dz）和v ac
f cap2w（z）=（1/2）（dc / dz）v ac 2 sin（2wt）
并且可用于获取其他信息，例如样品上的表面容量分布。为了大化二次谐波振荡，将交流频率w调整为等于悬臂共振频率w r的一半。
references
nanotechnology 12, 485 (2001). appl. phys. lett. 52, 1103 (1988). j. appl. phys. 61, 4723 (1987).
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